基本介紹
恒普可為各類組件、載體提供專門的碳化鉭（TaC）涂層。通過恒普行業(yè)領(lǐng)先的涂層工藝，可以使得碳化鉭（TaC）涂層獲得高純度、高溫穩(wěn)定性和高化學(xué)耐受性，可改善SIC/GAN晶體和EPI層的產(chǎn)品質(zhì)量，并延長關(guān)鍵反應(yīng)堆成分的壽命。采用碳化鉭TaC涂層, 是解決邊緣問題，提高晶體生長質(zhì)量，是“長快、長厚、長大”的核心技術(shù)方向之一。為了推動行業(yè)技術(shù)發(fā)展，解決關(guān)鍵材料“進口”依賴，恒普突破性解決了碳化鉭涂層技術(shù)（CVD），達到了國際先進水平。
主要特征
超高純度
超高純度能有效避免雜質(zhì)和污染的產(chǎn)生
高溫穩(wěn)定性
2500°C內(nèi)高溫穩(wěn)定性，可實現(xiàn)超高溫操作
化學(xué)環(huán)境耐受性
對H2、NH3、SiH4和Si具有耐受性，
能在惡劣的化學(xué)環(huán)境中提供有效保護
長壽命不脫落
涂層與石墨本體的強結(jié)合力可以保證長周期
內(nèi)涂層無脫落
抗熱震性
抗熱震性可以有效加快操作周期
嚴格的尺寸公差
碳化鉭涂層覆蓋滿足嚴格的尺寸公差
參數(shù)表
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 密度 | 14.3 （gm/cm3） |
| 比輻射率 | 0.3 |
| 熱膨脹系數(shù)（×10-6/K) | 6.3（×10-6/K) |
| 硬度（HK) | 2000 |
| 電阻（Ohm-cm） | 1×10-5（Ohm-cm） |
| 熱穩(wěn)定性 | ＜2500℃ |
| 石墨尺寸變化 | -10~-20um（參考值） |
| 涂層厚度 | ≥20um 典型值（35um±10um） |
| 以上為典型值 |
聯(lián)系我們
中國區(qū)/海外事業(yè)部：鄒先生
手機：13567416699
郵箱：xiangwei.zou@hiper.cn
如遇任何問題，恒普歡迎您的致電！