主要特征
8-40目/mesh
顆粒度精確可控
99.9995%
純度不低于99.9995%
純度：指采用GDMS全元素檢測(cè)（不含N元素）， 使用100%減去所測(cè)元素含量所得值，其中小于 檢測(cè)限的元素按照0%的濃度進(jìn)行統(tǒng)計(jì)
參數(shù)表
高純度SiC原料（用于導(dǎo)電單晶生長(zhǎng)）
| 元素 | 單位 | 含量 |
|---|---|---|
| B | ppm | <0.20 |
| AI | ppm | <0.20 |
| V | ppm | <0.10 |
| Ti | ppm | <0.10 |
| Fe | ppm | <0.10 |
| Na | ppm | <0.20 |
| P | ppm | <0.20 |
| S | ppm | <0.50 |
| Co | ppm | <0.05 |
| Ni | ppm | <0.05 |
| Zr | ppm | <0.50 |
| W | ppm | <0.50 |
| 純度 | % | ≥99.9995 |
| 粒徑分類(lèi) | 粒徑占比 | 形貌 |
| 5-8# | ≥95% | 顆粒料 |
| 8-20# | ≥95% | 顆粒料 |
| 20-40# | ≥95% | 顆粒料 |
| 8-20# | ≥95% | 針狀料 |
| 20-40# | ≥95% | 針狀料 |
| 粒徑分類(lèi) | 粒徑占比 | 形貌 |
|---|---|---|
| 5-8# | ≥95% | 顆粒料 |
| 8-20# | ≥95% | 顆粒料 |
| 20-40# | ≥95% | 顆粒料 |
| 8-20# | ≥95% | 針狀料 |
| 20-40# | ≥95% | 針狀料 |
| 以上為典型值 |
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