氮化鋁陶瓷基板燒結爐/氮化硅陶瓷基板壓力燒結爐
氮化鋁陶瓷因具有高導熱系數、優異的電絕緣性、與硅匹配的熱膨脹系數等特點，其燒結產品廣泛應用于：電子封裝領域（作為芯片散熱基板、功率器件封裝外殼，替代傳統氧化鋁陶瓷，提升散熱效率），半導體制造（用于制作晶圓載盤、射頻器件絕緣部件等，適應高溫、高頻工作環境），航空航天與新能源(作為耐高溫、耐腐蝕的結構材料，用于航天器熱控部件、新能源汽車功率模塊等)。
氮化鋁燒結爐是專門用于氮化鋁（AlN）陶瓷材料燒結的脫氣和燒結，其核心功能是通過精確控制溫度、氣氛、壓力等工藝參數，使氮化鋁坯體在高溫環境下完成致密化。
Our Products
■ High performance
- 采用德國、日本進口石墨材。
- 采用日本質量流量計、真空計、PLC等控制系統。
- 6組日本紅外測溫儀，保證高溫溫度準確性。
- 適用于氮化鋁等非氧化系陶瓷的燒結
■ 6區獨立控溫系統
- 6區加熱系統完全獨立。
- 整爐溫度分布（均溫性）≤2℃
- 均溫性檢測采用熱電偶和產品雙驗證。
- 6區域可獨立設定溫度，進行區域調整或補償。
- 溫度的響應速度大幅改善。
■ 創新的氣流設計
- 石墨密封箱內外氣流分離，氣氛分離。
- 石墨密封箱內的氣流，由內進氣管道直接充入，
- 從內抽氣管道抽出。
- 石墨密封箱外的氣流，由外進氣管道直接充入，
- 從外抽氣管道抽出。
- 避免了真空泄漏對產品的影響。
- 使產品區域氣氛保持潔凈，從而提高良率
Our advantage
Precise control
With more than ten years of experience in sintering furnace design, he has a very deep understanding of vacuum, temperature control and air flow, and has a complete set of systems for testing to achieve world-leading temperature control, air flow control and vacuum control.
Full size
恒普燒結爐品種豐富，種類齊全，涵蓋了從實驗到量產，再到大批量生產的全部設備，滿足了客戶不同階段的需求。
Quick service
With more than ten years of after-sales service experience, we can find and solve problems in a short time, and send after-sales parts quickly.
Rich customization
Hengpu can customize professional sintering furnaces according to your materials, application fields, and usage scenarios, and can also choose different configurations based on our standard furnaces.
Contact Us
中國區事業部：鄒先生
Mobile: 13567416699
E-mail: xiangwei.zou@hiper.cn
In case of any problem, HIPER welcomes your call!
氮化鋁陶瓷因具有高導熱系數、優異的電絕緣性、與硅匹配的熱膨脹系數等特點，其燒結產品廣泛應用于：電子封裝領域（作為芯片散熱基板、功率器件封裝外殼，替代傳統氧化鋁陶瓷，提升散熱效率），半導體制造（用于制作晶圓載盤、射頻器件絕緣部件等，適應高溫、高頻工作環境），航空航天與新能源(作為耐高溫、耐腐蝕的結構材料，用于航天器熱控部件、新能源汽車功率模塊等)。
氮化鋁燒結爐是專門用于氮化鋁（AlN）陶瓷材料燒結的脫氣和燒結，其核心功能是通過精確控制溫度、氣氛、壓力等工藝參數，使氮化鋁坯體在高溫環境下完成致密化。
- Processing box size (cm)VM40/40/150-S
- Maximum temperature2000℃
- Operating temperature1800℃
- Temperature Distribution±5℃
- Ultimate vacuum≤0.7Pa
- Used gasN2
- Power capacity (KVA)260