2022年7月?恒普同時推出2款8英寸雙線圈感應(yīng)晶體生長爐，新推出的2款全新爐型，對應(yīng)SIC感應(yīng)晶體生長爐在8英寸或更大尺寸上的劣勢，也積極對應(yīng)行業(yè)客戶的使用習(xí)慣和經(jīng)驗延續(xù)。

在碳化硅8英寸時代到來之際，隨著坩堝的直徑增長，感應(yīng)線圈只能加熱坩堝的表面，不同位置的徑向溫度梯度都會隨之增大，而這樣的參數(shù)變化不適合大直徑的晶體生長。恒普在6月推出了新一代2.0版SIC電阻晶體生長爐，以【軸徑分離】+【新工藝】為核心技術(shù)，更優(yōu)化解決晶體的長大、長快、長厚的行業(yè)需求。這就突顯SIC感應(yīng)晶體生長爐的技術(shù)落后，為了對應(yīng)行業(yè)客戶的使用慣性及Know-How的延續(xù)，恒普推出了雙線圈感應(yīng)晶體生長爐，并且同時推出石英管（雙線圈外置）和金屬殼（雙線圈內(nèi)置）兩款全新爐型。

雙線圈的技術(shù)并不是新的技術(shù)路線，但是雙線圈的相互干擾，特別是在坩堝中的發(fā)熱互相干擾，對工藝調(diào)整存在很大難度，物質(zhì)流傳輸及通道沉積都存在難點，為了克服8英寸感應(yīng)晶體生長爐的問題點，恒普解決了雙線圈對石墨坩堝的溫度上下無法分離，做到了【準軸徑分離】，并將技術(shù)同時使用在了兩種爐型上，滿足更多客戶的使用習(xí)慣。

核心技術(shù)

? 坩堝區(qū)域溫度分離  （相對分離）

? 采用特殊定制石墨硬氈

? 雙水平式線圈

? 獨特的二次發(fā)熱體

? 坩堝與熱場分離

? 物質(zhì)流的傳輸導(dǎo)流控制

注：以上功能不是2款爐型都有。

產(chǎn)品&技術(shù)特點

一、SIC石英管雙線圈（外置）感應(yīng)晶體生長爐

技術(shù)特點：

? 坩堝區(qū)域溫度分離

? 方便原工藝過渡

? 水平螺旋線圈，提高磁場平衡與雙線圈匹配

二、SIC金屬殼雙線圈（內(nèi)置）感應(yīng)晶體生長爐

技術(shù)特點：

? 爐下方向出料，解決8英寸坩堝上取料的不便

? 出料時，坩堝與熱場自動分離，提高爐次的重復(fù)性

? 獨特的二次發(fā)熱體

? 優(yōu)化內(nèi)置線圈絕緣

? 橫向多點測溫

? 采用特殊定制石墨硬氈