感應爐 SICG6-S01
單石英管SiC長晶爐，擁有簡易的結構，更小的設計空間，合理的冷卻時間。
產品優勢
AGV智能料車進料系統
- 有效減少人力成本。
- 提高上料精度。
全新逆流工藝
- 實現壓力精度控制±0.3Pa
注：即將推出
先進技術
軸徑分離技術
注：單一爐型不一定涉及全部技術，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。調整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發生改變，從而導致晶體生長界面的凹凸變化、應力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區域的電阻發熱，達到籽晶區域和源料區域的溫度分別控制，達到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
聯系我們
華北、華東/海外事業部：鄒先生
手機：13567416699
郵箱：xiangwei.zou@hiper
華南/華中事業部：華先生
手機：17857054813
郵箱：yecheng.hua@hiper.cn
如遇任何問題，恒普歡迎您的致電！
單石英管SiC長晶爐，擁有簡易的結構，更小的設計空間，合理的冷卻時間。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應加熱
- 長晶速度0.1-0.2mm/h
- 長晶尺寸6 inch
- 長晶高度15-25mm
- 線圈類型N/A